ระบบเตา PECVD
ผลิตภัณฑ์นี้คือระบบ PECVD แบบเปิดสไลด์ขนาดกลาง ระบบเตาหลอมท่อ PECVD นี้มาพร้อมกับแหล่งจ่ายไฟ RF พลาสม่า ระบบผสมก๊าซไหลมวลสามทาง (ที่มีช่วง 1-100 SCCM, 1-200 SCCM และ 1-200 SCCM) เตาหลอมแบบท่อเปิดเส้นผ่านศูนย์กลาง 60 มม. (พร้อมหน้าแปลนสุญญากาศและท่อเชื่อมต่อ) และปั๊มเชิงกล
ข้อมูลผลิตภัณฑ์
| รุ่นสินค้า | ระบบเตาท่อ PECVD แบบเลื่อน —— OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| พารามิเตอร์ผลิตภัณฑ์หลัก | แหล่งจ่ายไฟ: 220V 50/60Hz; กำลังไฟพิกัด: 3.1 กิโลวัตต์; อุณหภูมิการทำงานสูงสุด: 1200°C (<0.5 ชม.); อุณหภูมิในการทำงานต่อเนื่อง: ≤1100°C; อัตราการทำความร้อนที่แนะนำ: ≤10°C/นาที; ความยาวโซนความร้อน: 440 มม.; เทอร์โมคัปเปิล: ชนิด K |
| คุณสมบัติหลัก | แหล่งจ่ายไฟ RF สามารถเพิ่มประสิทธิภาพของพลาสมาและลดอุณหภูมิการทดลองได้อย่างมาก อุณหภูมิที่เพิ่มขึ้นและลดลงอย่างรวดเร็วสามารถทำได้โดยการเลื่อนตัวเตา ความเครียดของภาพยนตร์สามารถควบคุมได้โดยความถี่ของแหล่งจ่ายไฟ RF ปริมาณสัมพันธ์สามารถควบคุมได้โดยการปรับกระบวนการ สามารถฝากวัสดุต่างๆ เช่น SiOx, SiNx, SiOxNy และ (a-Si:H) ได้ |
| องค์ประกอบความร้อน | ลวดโลหะผสมเหล็ก-โครเมียม-อลูมิเนียม 0Cr21Al6Nb |
| ขนาดท่อเตา | เส้นผ่านศูนย์กลางท่อควอทซ์เสริม: Φ60 |
| ระบบควบคุมอุณหภูมิ | รวมถึงตัวควบคุมอุณหภูมิ YD858; การควบคุม PID และการปรับจูนเอง การควบคุมแบบตั้งโปรแกรมได้ 50 ส่วนอัจฉริยะ พร้อมฟังก์ชันแจ้งเตือนอุณหภูมิเกินและเหนื่อยหน่าย ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ: ± 1 ℃ |
| แหล่งจ่ายไฟพลาสม่า RF | แหล่งจ่ายไฟ RF 300W; กำลังขับ: 0 ~ 300W ปรับได้; ความถี่วิทยุ: 13.56MHZ; การจับคู่อัตโนมัติ ระดับเสียง < 50dB; วิธีการทำความเย็น: ระบายความร้อนด้วยอากาศ; แรงดันไฟฟ้าขาเข้า: 180~250V |
| อินเตอร์เฟซหน้าแปลนปิดผนึกสูญญากาศ | การกำหนดค่ามาตรฐาน: หน้าแปลนสูญญากาศสแตนเลสคู่และแหวนปิดผนึกซิลิโคนอุณหภูมิสูง หน้าแปลนทางออกคือหน้าแปลนสามพอร์ต K16, KF25 และΦ8.2 สามารถเชื่อมต่อหน้าแปลนทางออกเข้ากับอะแดปเตอร์ KF25 ด้วยที่สูบลม จากนั้นจึงต่อเข้ากับปั๊มสุญญากาศ |
| ปั๊มสุญญากาศ | ใช้ปั๊มสุญญากาศเชิงกลใบพัดหมุนคู่ TRP-12; ระดับสูญญากาศสามารถเข้าถึง 10-2torr; อุปกรณ์เสริมการเชื่อมต่อสูญญากาศมีแคลมป์ KF25 และที่สูบลมสแตนเลสสำหรับเชื่อมต่อเตาหลอมแบบท่อและปั๊มสุญญากาศ |
| ระบบจ่ายแก๊ส | ระบบผสมมวลไหลสามทาง - GYS-3Z; แหล่งจ่ายไฟ: 220V 50/60Hz; ช่วงการวัด: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; มีการติดตั้งเกจวัดแรงดันเชิงกลที่แผงด้านหน้าและเชื่อมต่อกับท่อผสม ช่วงเกจวัดความดัน: -0.1-0.15MPa; ขนาดถังผสม: Φ80*120มม. ท่อเชื่อมต่อภายในคือ Φ6.35 |
| โครงสร้างเตา | ตัวเตาสามารถเคลื่อนย้ายไปทางซ้ายและขวาและแหล่งจ่ายไฟ RF สามารถเคลื่อนย้ายไปทางซ้ายและขวาได้ ตัวเตาหลอมและแหล่งจ่ายไฟ RF ได้รับการติดตั้งบนรางสไลด์เดียวกัน และใช้ท่อควอทซ์เดียวกัน |
| การรับรองมาตรฐานและส่วนประกอบหลัก | ส่วนประกอบหลักของเครื่องทั้งหมดเป็นไปตามมาตรฐาน CE, UL, MET และมาตรฐานการรับรองอื่น ๆ ส่วนประกอบหลัก ได้แก่ ส่วนประกอบทางไฟฟ้าของ ABB, สายไฟและสายเคเบิลที่ผ่านการรับรอง UL, Omega, Yudian, เครื่องดนตรีของ Continental ฯลฯ |
ติดต่อเรา
เจ้อเจียง Nengcheng คริสตัลไฟเบอร์ จำกัด
เจ้อเจียง Nengcheng คริสตัลไฟเบอร์ จำกัด ก่อตั้งขึ้นในปี 2015 เป็นองค์กรมืออาชีพที่พัฒนาและผลิตวัสดุอุณหภูมิสูงน้ำหนักเบาพิเศษและประหยัดพลังงาน และจำหน่ายเตาไฟฟ้าสำหรับห้องปฏิบัติการ เตาไฟฟ้าอุตสาหกรรม และเตาไฟฟ้าแบบสั่งทำพิเศษ มืออาชีพ ระบบเตา PECVD ผู้ผลิต และ ระบบเตา PECVD โรงงานบริษัทฯ ยึดมั่นในหลักการ "อยู่รอดด้วยคุณภาพ พัฒนาด้วยชื่อเสียง" และยึดมั่นในปรัชญาทางธุรกิจของ "ความจริงจัง ความซื่อสัตย์ และประสิทธิภาพ" เรามุ่งมั่นที่จะนำเสนอโซลูชันอุปกรณ์ที่ครอบคลุมและมีคุณภาพสูงสำหรับลูกค้าในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น เซรามิก โลหะวิทยา อิเล็กทรอนิกส์ แก้ว และวิศวกรรมเคมี นอกจากนี้เรายังให้บริการต่างๆ เช่น การเผาผง การเผาผนึกเซรามิก และการทดลองอุณหภูมิสูงแก่สถาบันการศึกษา สถาบันวิจัย และสถานประกอบการอุตสาหกรรมและเหมืองแร่ ในขณะเดียวกัน เรายังมุ่งมั่นที่จะส่งเสริมการพัฒนาเชิงกลยุทธ์ของเส้นใยอลูมินาอุณหภูมิสูงน้ำหนักเบา ประหยัดพลังงาน และเป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อมของ Nengcheng ในด้านเตาเผาแบบใหม่ และมุ่งมั่นที่จะเป็นผู้ให้บริการอุตสาหกรรมอุปกรณ์อุณหภูมิสูงขั้นสูงชั้นนำระดับสากล ระบบเตา PECVD สั่งทำพิเศษ.
ข่าวสารล่าสุด
-
บทนำสู่ การรักษาความร้อนสูญญากาศ การอบชุบด้วยความร้อนสุญญากาศเป็นกระบวนการทางโลหะวิทยาขั้นสูงที่ใช้เพื่อปรับปรุงคุณสมบัติทางกลและความทนทานของชิ้นส่วนทางอุตสาหกรรม ด้วยการให้ความร้อนวัสดุในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ การเกิดออกซิเดชันและการปนเปื้อนจะลดลง ส่งผลให้ประสิทธิภาพของวัสดุแม่นยำและสม่ำเสมอ เทคนิคนี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น การบินและอวกาศ ยานยนต์ การผลิตเครื่องมือ และอิเล็กทรอนิกส์ เพิ่มความแข็งแรงและความแข็งของวัสดุ ข้อดีหลักประการหนึ่งของการบำบัดความร้อนด้...
