เตาท่อ PECVD
เตาหลอมแบบท่อ PECVD เป็นระบบเตาหลอมแบบท่อสะสมเฟสก๊าซพลาสม่า ซึ่งประกอบด้วยห้องปฏิกิริยาควอทซ์ แหล่งจ่ายไฟความถี่วิทยุ ระบบผสมก๊าซแบบหลายช่องสัญญาณ หน่วยสุญญากาศ และระบบควบคุมปฏิกิริยา เตาใช้วัสดุเส้นใยอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงและพื้นผิวเคลือบด้วยการเคลือบอลูมินาอุณหภูมิสูงที่นำเข้าเพื่อยืดอายุการใช้งานของเครื่องมือและปรับปรุงประสิทธิภาพการทำความร้อน มีการติดตั้งอุปกรณ์เหนี่ยวนำความถี่วิทยุที่ด้านหน้าการสะสมไอสารเคมีแบบดั้งเดิม เพื่อทำให้ก๊าซปฏิกิริยาแตกตัวเป็นไอออนและสร้างพลาสมา กิจกรรมที่สูงของพลาสมาจะช่วยเร่งปฏิกิริยา มีความสม่ำเสมอและการทำซ้ำที่ดี สามารถสร้างฟิล์มได้ในพื้นที่ขนาดใหญ่ สามารถสร้างฟิล์มที่อุณหภูมิต่ำ มีการครอบคลุมขั้นตอนที่ดีเยี่ยม และง่ายต่อการควบคุมองค์ประกอบและความหนาของฟิล์ม และง่ายต่อการอุตสาหกรรม มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการเจริญเติบโตของฟิล์มบาง เช่น กราฟีน ซิลิคอนมอนอกไซด์ ซิลิคอนไนไตรด์ ซิลิคอนออกซิไนไตรด์ และซิลิคอนอสัณฐาน (A-SI: H)
| ขนาดท่อเตา (MM) | อุณหภูมิในการทำงาน (°C) | ระดับสุญญากาศ | กำลัง (กิโลวัตต์) | แรงดันไฟฟ้า | องค์ประกอบความร้อน | อัตราความร้อน |
| Φ60*2200 | 1100°ซ | -0.1MPA 10พีเอ 6.67*10- 4PA | 3 | 220/380V | ลวดต้านทาน | 1-20°C/นาที |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
โครงสร้างพื้นฐานของก เตาสุญญากาศ เตาสุญญากาศประกอบด้วยระบบบูรณาการหลายระบบที่ออกแบบมาเพื่อทำงานภายใต้สภาวะแรงดันต่ำที่ได้รับการควบคุม โครงสร้างหลักประกอบด้วยห้องสุญญากาศ ระบบทำความร้อน ชุดฉนวน หน่วยปั๊มสุญญากาศ และระบบควบคุม ส่วนประกอบแต่ละชิ้นมีบทบาทเฉพาะในการรักษาสภาพแวดล้อมทางความร้อนและบรรยากาศให้คงที่ในระหว่างการอบชุบด้วยความร้อน โดยทั่วไปห้องสุญญากาศจะประดิษฐ์จากสแตนเลสหรือเหล็กกล้าคาร์บอน และได้รับการออกแบบให้ทนทานต่ออุณหภูมิสูงและความดันบรรยากาศภายนอก ภายในห้องเพาะเลี้ยง ว...
